实验室面向国家重大需求,围绕国际半导体材料科学前沿和要解决的关键科学与技术问题,开展半导体材料与器件应用基础性研究。
中国科学院半导体材料科学重点实验室是1990年9月15日经中国科学院批准,1991年3月正式向国内外开放的院级重点实验室。前三届学术委员会主任分别为林兰英院士、蒋民华院士、王占国院士;实验室第一、二届主任为王占国院士,第三届主任为陈诺夫研究员,现任实验室主任为陈涌海研究员。
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